Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
256 грн
5520
ISBN
Издательство
Техносфера
Категория
Техническая
Год
2010
Страниц
544
Формат
70х100 1/16 (170х240 мм)
  • По ХарьковуДоставка курьером - 70 грн
    Бесплатно - от 2000 грн
  • По УкраинеБесплатно - от 2000 грн
    Новая Почта - от 40 грн
    Укрпочта - от 30 грн
  • Международная доставкаУкрпочта...
Подробнее о доставке
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Товар входит в категории

Вы можете купить книгу с доставкой курьером новой поштой укрпочтой Кривой Рог, Львов, Полтава, Житомир, Черкассы, Харьков, Чернигов, Винница, Тернополь, Киев, Луцк, Ровно, Хмельницкий, Херсон, Кировоград, Николаев, Днепропетровск, Ужгород, Запорожье, Суммы, Черновцы, Одесса, Ивано-франковск, другие города Украины. только в нашем магазине низкие цены, возможен торг, прямые поступления от издательства,книги под заказ, печать книг на заказ, компьютерные книги на английском языке.

Ви можете купити придбати книгу з доставкою кур'єром нова пошта Укрпошта Кривий Ріг, Львів, Полтава, Житомир, Харків, Чернігів, Вінниця, Тернопіль, Київ, Луцьк, Рівне, Хмельницький, Херсон, Кіровоград, Миколаїв, Дніпропетровськ, Ужгород , Запоріжжя, Суми, Чернівці, Черкаси, Одеса, Івано-франківськ, інші міста України. тільки в нашому магазині низькі ціни, можливий торг, прямі надходження від видавництва, книги під замовлення, друк книг на замовлення, комп'ютерні книги англійською мовою.