
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит – на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов. ISBN: 978-5-94836-289-2 Издание 2-е, исправленное Москва: Техносфера, 2011. – 800 с., переплет
Вы можете купить книгу с доставкой курьером новой поштой укрпочтой Кривой Рог, Львов, Полтава, Житомир, Черкассы, Харьков, Чернигов, Винница, Тернополь, Киев, Луцк, Ровно, Хмельницкий, Херсон, Кировоград, Николаев, Днепропетровск, Ужгород, Запорожье, Суммы, Черновцы, Одесса, Ивано-франковск, другие города Украины. только в нашем магазине низкие цены, возможен торг, прямые поступления от издательства,книги под заказ, печать книг на заказ, компьютерные книги на английском языке.
Ви можете купити придбати книгу з доставкою кур'єром нова пошта Укрпошта Кривий Ріг, Львів, Полтава, Житомир, Харків, Чернігів, Вінниця, Тернопіль, Київ, Луцьк, Рівне, Хмельницький, Херсон, Кіровоград, Миколаїв, Дніпропетровськ, Ужгород , Запоріжжя, Суми, Чернівці, Черкаси, Одеса, Івано-франківськ, інші міста України. тільки в нашому магазині низькі ціни, можливий торг, прямі надходження від видавництва, книги під замовлення, друк книг на замовлення, комп'ютерні книги англійською мовою.