Мікромеханічні прилади: навчальний посібник 4490

Викладено термінологія, класифікація, конструкції та принципи роботи мікромеханічних осьових і маятникових акселерометрів, датчиків тиску і гіроскопів LL-, LR - і RR-типів. Дано опис і розрахунок прямих (датчиків переміщень і деформацій) і зворотних (датчиків сил і моментів) перетворювачів в микромеханическом виконанні, схеми електронної обробки сигналів.

Наведені приклади електронного усунення помилок микрогироскопов, зокрема квадратурної; описана електронна частотна настройка режимів роботи микрогироскопов. Розглянуто конструктивні схеми і розрахунок пружних підвісів і мембран, динаміка чутливих елементів, що включає рівняння руху, передавальні функції, частотні характеристики і функціональні залежності переміщень чутливих елементів від вимірюваної величини. Дано розрахунок газового і конструкційного демпфування, теорія і розрахунок вимірювальних ланцюгів приладів прямого і компенсаційного перетворень, а також основні похибки вимірювань, приклади обчислень.

Допущено Міністерством освіти  і науки Російської Федерації в якості навчального посібника для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за спеціальністю "Приладобудування" напряму підготовки "Приладобудування".