Технології мікроелектроніки. Хімічне осадження з газової фази

Технології мікроелектроніки. Хімічне осадження з газової фази
%D0%A2%D0%B5%D1%85%D0%BD%D0%BE%D0%BB%D0%BE%D0%B3%D1%96%D1%97+%D0%BC%D1%96%D0%BA%D1%80%D0%BE%D0%B5%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BD%D1%96%D0%BA%D0%B8.+%D0%A5%D1%96%D0%BC%D1%96%D1%87%D0%BD%D0%B5+%D0%BE%D1%81%D0%B0%D0%B4%D0%B6%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D1%8F+%D0%B7+%D0%B3%D0%B0%D0%B7%D0%BE%D0%B2%D0%BE%D1%97+%D1%84%D0%B0%D0%B7%D0%B8 - фото 1
150 грн
2994
ISBN
5-94836-039-3
Видавництво
Техносфера
Категорія
Техническая
Рік
2006
Сторінок
192
Формат
60х90 1/16 (145х215 мм)
Обкладинка 
Тверда
Оформлення
Лакированая
Тип паперу 
Офсет
Мова
Російська
Ілюстрації
Чорно-біліСхемы
Вага, г
400
2 людини
  • По УкраїніНовая Почта - від 40 грн
    Укрпочта - від 25 грн
    Безкоштовно - от 3000 грн
  • Міжнародна доставкаУкрпошта...
Детальніше про доставку
Проведена класифікація процесів і обладнання хімічного осадження з газової фази (ХОГФ), які використовуються в технології виробництва інтегральних мікросхем (ІМС), і показано тенденції їх розвитку. Наведено основні характеристики елементів мікроструктур ІМС, одержуваних у процесах ХОГФ, а також технологічні характеристики самих процесів і використовуваних реагентів. Розглянуто параметри обладнання для реалізації процесів ХОГФ та проведено аналіз його можливостей, достоїнств і недоліків при осадженні функціональних шарів мікросхем. Наведено основні електрофізичні характеристики загрожених плівок. Для інженерів-технологів і наукових працівників, що використовують в своїй практичній роботі хімічне осадження плівок з газової фази. Книга може бути корисною також студентам старших курсів, аспірантам і викладачам вузів.
Технології мікроелектроніки. Хімічне осадження з газової фази

Товар входить в категорії

Ви можете купити придбати книгу з доставкою кур'єром нова пошта Укрпошта Кривий Ріг, Львів, Полтава, Житомир, Харків, Чернігів, Вінниця, Тернопіль, Київ, Луцьк, Рівне, Хмельницький, Херсон, Кіровоград, Миколаїв, Дніпропетровськ, Ужгород, Запоріжжя, Суми, Чернівці, Черкаси, Одеса, Івано-франківськ, інші міста України. только в нашому магазині нізькі ціні, можливий торг, Прямі надходження від видавництва, книги під замовлення, друк книг на замовлення, комп'ютерні книги англійською мовою.