Нано - і мікросистемні техніка Від досліджень до розробок Збірник статей під редакцією П П Мальцева 2951

"Щомісячному міждисциплінарного теоретичного та прикладного науково-технічного журналу ""Нано - і мікросистемні техніка"" виповнилося п'ять років. Найбільш цитовані статті, опубліковані в журналі з листопада 1999 р. по березень 2005 р., згруповані у відповідності з назвою рубрик і дозволяють простежити розвиток від мікро - до наносистемной техніки в Росії. У книзі розглянуті загальні питання, технології формування наноструктур, методи дослідження наноструктур, метрологічне забезпечення, основи технології, моделювання та конструювання компонентів нано - і микросистемной техніки, перспективи їх застосування. Монографія представляє інтерес для вчених, інженерів і викладачів вищої школи, аспірантів і студентів, що спеціалізуються в галузі мікро - і наноелектроніки, мікро - і нанотехнології, мікро - і наноситемной техніки."

Нано - і мікросистемні техніка Від досліджень до розробок Збірник статей під редакцією П П Мальцева