Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
%D0%A2%D0%B5%D1%85%D0%BD%D0%BE%D0%BB%D0%BE%D0%B3%D0%B8%D0%B8+%D0%BC%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BD%D0%B8%D0%BA%D0%B8.+%D0%A5%D0%B8%D0%BC%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%BE%D0%B5+%D0%BE%D1%81%D0%B0%D0%B6%D0%B4%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5+%D0%B8%D0%B7+%D0%B3%D0%B0%D0%B7%D0%BE%D0%B2%D0%BE%D0%B9+%D1%84%D0%B0%D0%B7%D1%8B - фото 1
150 грн
2994
ISBN
5-94836-039-3
Издательство
Техносфера
Категория
Техническая
Год
2006
Страниц
192
Формат
60х90 1/16 (145х215 мм)
Обложка 
Твердая
Оформление
Лакированая
Тип бумаги 
Офсет
Язык
Русский
Иллюстрации
Чёрно-белыеСхемы
Вес, г
400
2 человека
  • По ХарьковуДоставка курьером - 100 грн
    Бесплатно - от 2000 грн
  • По УкраинеБесплатно - от 2000 грн
    Новая Почта - от 40 грн
    Укрпочта - от 25 грн
  • Международная доставкаУкрпочта...
Подробнее о доставке
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Товар входит в категории

Вы можете купить книгу с доставкой курьером новой поштой укрпочтой Кривой Рог, Львов, Полтава, Житомир, Черкассы, Харьков, Чернигов, Винница, Тернополь, Киев, Луцк, Ровно, Хмельницкий, Херсон, Кировоград, Николаев, Днепропетровск, Ужгород, Запорожье, Суммы, Черновцы, Одесса, Ивано-франковск, другие города Украины. только в нашем магазине низкие цены, прямые поступления от издательства,книги под заказ, печать книг на заказ, компьютерные книги на английском языке.

Ви можете купити придбати книгу з доставкою кур'єром нова пошта Укрпошта Кривий Ріг, Львів, Полтава, Житомир, Харків, Чернігів, Вінниця, Тернопіль, Київ, Луцьк, Рівне, Хмельницький, Херсон, Кіровоград, Миколаїв, Дніпропетровськ, Ужгород , Запоріжжя, Суми, Чернівці, Черкаси, Одеса, Івано-франківськ, інші міста України. тільки в нашому магазині низькі ціни, прямі надходження від видавництва, книги під замовлення, друк книг на замовлення, комп'ютерні книги англійською мовою.