ВЧ МЕМС та їх застосування 2925

У монографії детально розглянуто питання проектування і застосування, а також технологічні аспекти виробництва різноманітних мікроелектромеханічних пристроїв: перемикачів, регульованих індукторів і конденсаторів, фільтрів, фазовращателей, ліній передач та антен, наведено переваги та недоліки кожної окремої конструкції та вказано способи їх оптимізації. Ціла глава присвячена такій важливій темі, як монтаж мікросистем, де обговорюються методи побудови корпусів мікросистем і способи їх складання. Детальний опис методів виготовлення мікропристроїв, як традиційних, що застосовуються в електронній промисловості, так і сучасних, розроблених спеціально для мікросистем, робить книгу особливо цінною для фахівців.

ВЧ МЕМС та їх застосування